[发明专利]蒸发源和蒸镀设备有效
| 申请号： | 201710170761.5 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN106868456B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张峰杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示装置制备技术领域，公开了一种蒸发源和蒸镀设备，用以提高蒸发效率和显示装置的显示效果。蒸发源，包括：第一壳体，第一壳体内设有用于容纳坩埚的中空部，第一壳体包括至少两个第一本体，相邻两个第一本体之间可拆卸连接，且第一壳体上设有多个喷嘴。本发明提供的蒸发源，通过将用于容纳坩埚的第一壳体设置为可拆卸的，能够便于对第一壳体的内部进行清洗，可以提高蒸发源的使用寿命，提高蒸发源的蒸发效率，以提高显示装置的显示效果。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，其特征在于，包括：第一壳体，所述第一壳体内设有用于容纳坩埚的中空部，所述第一壳体包括至少两个用于围成所述第一壳体的第一本体，相邻两个所述第一本体之间可拆卸连接，且所述第一壳体上设有多个喷嘴。
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