[发明专利]一种薄膜封装结构、薄膜封装方法及显示装置

摘要

本文公开了一种薄膜封装结构、薄膜封装方法及显示装置。所述薄膜封装结构包括：在电致发光单元结构外部由内而外依次覆盖的无机层、缓冲层和有机层；所述缓冲层的成分是有机物，所述缓冲层的厚度小于所述有机层的厚度。所述薄膜封装方法包括：在包覆电致发光单元结构的无机层上覆盖缓冲层；在所述缓冲层的表面覆盖有机层；所述缓冲层的成分是有机物，所述缓冲层的厚度小于所述有机层的厚度。本文的技术方案能够改善多层堆叠的薄膜封装结构中有机层涂布的接触面特性，提高封装质量。

主权项

1.一种薄膜封装结构，其特征在于，包括：在电致发光单元结构外部由内而外依次覆盖的无机层、缓冲层和有机层；所述缓冲层的成分包括六甲基二甲硅醚HMDSO，用于改善有机层涂布的接触面特性，所述缓冲层的厚度小于所述有机层的厚度；所述缓冲层的固化通入等离子体；所述等离子体包括：含氧等离子体和/或含氟等离子体；所述缓冲层的固化在不同区域通入的等离子体的浓度不同，或者在不同区域通入的等离子体不同。