[发明专利]一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备及其控制方法有效
| 申请号： | 201710172346.3 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN106939406B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 韩斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市提姆光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518110 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，包括第一蒸镀腔、设置于所述第一蒸镀腔内的第一蒸发源以及基板，还包括气压传感器、单片机、驱动电机以及设置在所述基板下方且覆盖所述基板的蒸镀面的管阵，所述管阵由若干导向管组成，所述气压传感器与所述导向管的数量相同，所述导向管包括固定管以及套设在所述固定管内部的活动管，所述固定管内设置有用于控制所述活动管沿着所述导向管的轴向水平移动的控制装置，所述气压传感器设置在所述固定管的开口处且与所述单片机连接，所述单片机与所述驱动电机连接，所述驱动电机与所述控制装置连接；使原材料均匀在基板上镀膜，并且避免原材料蒸镀到蒸镀腔壁，提高原材料利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 导向 纵向 长度 真空 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种控制导向管纵向长度的真空蒸镀设备，包括第一蒸镀腔（1）、设置于所述第一蒸镀腔（1）内的第一蒸发源（11）以及基板（12），其特征在于：还包括气压传感器（13）、单片机（14）、驱动电机（15）以及设置在所述基板（12）下方且覆盖所述基板（12）的蒸镀面的管阵，所述管阵由若干导向管（16）组成，所述气压传感器（13）与所述导向管（16）的数量相同，所述导向管（16）包括固定管（161）以及套设在所述固定管（161）内部的活动管（162），所述固定管（161）内设置有用于控制所述活动管（162）沿着所述导向管（16）的轴向水平移动的控制装置（17），所述气压传感器（13）设置在所述固定管（161）的开口处且与所述单片机（14）连接，所述单片机（14）与所述驱动电机（15）连接，所述驱动电机（15）与所述控制装置（17）连接。
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