[发明专利]图像传感器及其形成方法、工作方法有效
| 申请号： | 201710173899.0 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN108630714B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 姚国峰;陆珏;张海芳;刘煊杰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种图像传感器及其形成方法、工作方法，其中，所述图像传感器包括：衬底，所述衬底包括相对的第一面和第二面，所述衬底包括感光区和连接区，所述感光区衬底中具有感光元件；位于所述感光区衬底第一面上的缓冲层；位于所述缓冲层上的金属网格，所述金属网格包括多条交错连接的金属线，所述金属线围成凹槽，所述金属网格用于连接工作电位；位于所述金属网格的凹槽中的颜色过滤器。其中，所述金属网格用于接工作电位，则所述金属网格能够在所述衬底中感生出电荷，所述金属网格在所述衬底中感生出的电荷能够阻挡所述感光元件产生的电荷与衬底中的缺陷复合，从而能够减小暗电流，改善所形成图像传感器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 图像传感器 及其 形成 方法 工作 | ||
【主权项】：
1.一种图像传感器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底包括相对的第一面和第二面，所述衬底包括感光区和连接区，所述感光区衬底中具有感光元件；位于所述感光区衬底第一面上的缓冲层；位于所述缓冲层上的金属网格，所述金属网格包括多条交错连接的金属线，所述金属线围成凹槽，所述金属网格用于连接工作电位；位于所述金属网格的凹槽中的颜色过滤器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
