[发明专利]基于双CCD的自动对焦显微镜及测量方法有效
| 申请号： | 201710174216.3 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN106842534B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 江旻珊;汪泓;朱静远;张学典;常敏 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G02B21/24 | 分类号： | G02B21/24 |
| 代理公司： | 31001 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根;王晶 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于双CCD的自动对焦显微镜及测量方法，该显微镜的光路部分由激光光源、物镜、分光镜BS1、分光镜BS2组成，激光光束通过狭缝进入光筒中，由分光镜BS1反射向下经物镜到达样品平面，样品反射光束经原路返回到分光镜BS1透过向上到达分光镜BS2后分成二路，一路透过向上被CCD2接收，另一路反射后经反射镜折返向上被CCD1接收；电路部分由CCD1、CCD2、计算机、控制箱和步进电机构成，两个CCD前后错开放置，分别接收完整光束信号，且具有重叠接收区域，CCD接收光信号后由光电转换器转换成电信号，并传输到计算机，计算机将指令信号发送到控制箱，控制箱控制步进电机带动光路部分上下移动寻找最佳对焦位置。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 ccd 自动 对焦 显微镜 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于双CCD的自动对焦显微镜，包括光路部分、电路部分，清空的样品平面，其特征在于：所述光路部分由激光光源、物镜、分光镜BS1、分光镜BS2组成，激光光束通过狭缝进入光筒中，由分光镜BS1反射向下经物镜到达样品平面，样品反射光束经原路返回到分光镜BS1透过向上到达分光镜BS2后分成二路，一路透过向上被CCD2接收，另一路反射后经反射镜折返向上被CCD1接收；所述电路部分由CCD1、CCD2、计算机、控制箱和步进电机构成，CCD1和CCD2沿垂直光轴方向前后错开放置，分别接收完整光束信号，并且CCD1和CCD2具有重叠接收区域，CCD1和CCD2接收光信号后由光电转换器转换成电信号，并传输到计算机，计算机将指令信号发送到控制箱，控制箱控制步进电机带动光路部分上下移动寻找最佳对焦位置。/n
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