[发明专利]一种镀膜机在审
申请号: | 201710174913.9 | 申请日: | 2017-03-22 |
公开(公告)号: | CN108624840A | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 何兴伟;方允樟;卫华荣;范晓珍 | 申请(专利权)人: | 浙江师范大学 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04 |
代理公司: | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人: | 陈蕾 |
地址: | 321004 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本公开是关于一种镀膜机,所述镀膜机(100)包括托台(1)、动力装置(2)以及传动装置(3),所述托台(1)组装于所述动力装置(2)的基座(21)上,所述传动装置(3)与所述动力装置(2)传动连接;所述传动装置(3)的末端设置有遮挡件(31),所述托台(1)上设置有收容基材的第一收容部(11)及收容所述遮挡件的第二收容部(12),所述遮挡件(31)在所述传动装置(3)的推动下沿所述第二收容部(12)运动完全或部分遮挡所述基材。本公开可实现在同一基片上生长出一系列不同厚度的薄膜区域,确保整个薄膜的生长状态是一致的。 | ||
搜索关键词: | 传动装置 动力装置 收容 镀膜机 遮挡件 托台 基材 薄膜区域 传动连接 生长状态 下沿 遮挡 薄膜 组装 生长 | ||
【主权项】:
1.一种镀膜机,其特征在于,所述镀膜机(100)包括托台(1)、动力装置(2)以及传动装置(3),所述托台(1)组装于所述动力装置(2)的基座(21)上,所述传动装置(3)与所述动力装置(2)传动连接;所述传动装置(3)的末端设置有遮挡件(31),所述托台(1)上设置有收容基材的第一收容部(11)及收容所述遮挡件的第二收容部(12),所述遮挡件(31)在所述传动装置(3)的推动下沿所述第二收容部(12)运动完全或部分遮挡所述基材。
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