[发明专利]一种电离效果稳定的射频离子源中和器有效
| 申请号： | 201710176087.1 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN106941066B | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 刘伟基;冀鸣;陈蓓丽 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/08;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 吝秀梅;李彦孚 |
| 地址： | 528437 广东省中山市火炬*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种电离效果稳定的射频离子源中和器，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极、外罩体、射频线圈、绝缘电离腔体及正离子收集极；射频电源通过射频感抗匹配网络与射频线圈连接；射频线圈螺旋设于绝缘电离腔体的外侧壁，外罩体套设于射频线圈的外侧；绝缘电离腔体罩设于正离子收集极且与正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体开设有发射孔，起辉维持极开设有与发射孔对应的第一通孔；正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通进气通道和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔。本发明的射频线圈不随工作时长而变形，保证中和器电离效果的稳定性，且射频线圈的氧化效果得到有效抑制，提高射频线圈使用寿命的同时保证电离效果。 | ||
| 搜索关键词： | 射频线圈 电离腔 绝缘 收集极 正离子 电离 中和器 射频离子源 惰性气体 进气通道 匹配网络 射频电源 效果稳定 发射孔 外罩体 感抗 起辉 射频 工作时长 使用寿命 氧化效果 有效抑制 供气孔 外侧壁 体罩 通孔 围合 连通 变形 保证 | ||
【主权项】：
1.一种电离效果稳定的射频离子源中和器，其特征在于，包括射频电源、射频感抗匹配网络、起辉维持极(110)、外罩体(170)、射频线圈(130)、绝缘电离腔体(140)及正离子收集极(150)；射频电源通过射频感抗匹配网络与射频线圈(130)连接；射频线圈(130)螺旋设于绝缘电离腔体(140)的外侧壁，外罩体(170)套设于射频线圈(130)的外侧，外罩体(170)无顶部及底部；绝缘电离腔体(140)罩设于正离子收集极(150)且与正离子收集极(150)围合形成绝缘电离腔室；绝缘电离腔体(140)开设有发射孔(180)，起辉维持极(110)开设有与发射孔(180)对应的第一通孔(190)；正离子收集极(150)开设有用于通入惰性气体的进气通道(200)，以及连通进气通道(200)和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔(160)；起辉维持极(110)用于维持中和器内部的电离状态；绝缘电离腔体(140)的外侧壁设有螺旋线槽(141)，射频线圈(130)螺旋设于螺旋线槽(141)内；所述离子源中和器还包括罩射于外罩体(170)外的屏蔽外壳(120)，屏蔽外壳(120)开设有与发射孔(180)对应的第二通孔(210)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山市博顿光电科技有限公司，未经中山市博顿光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710176087.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种小摩擦自润滑导柱
- 下一篇：一种冲床模架
