[发明专利]一种水平方向对称的高阶超模方向耦合波导探测器有效
申请号: | 201710176436.X | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN106842421B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 余学才;童文强;李林松;马朝阳 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏;王伟 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种水平方向对称的高阶超模方向耦合波导探测器,包括从下往上依次设置的衬底层(1)、波导层(2)、吸收层(3)以及覆盖层(4);波导层(2)由左波导(21)、中波导(22)和右波导(23)并排构成,左波导(21)和右波导(23)结构相同且呈对称分布设置。本发明解决了现有的方向耦合波导探测器、垂直方向耦合波导探测器以及对称结构的垂直方向耦合器波导探测器横截面过小,因而入射光斑过小的问题,使入射光斑直径可从原来的3微米增加到5微米,从而增加了探测器的光电流,并有效增加了从光纤到波导的光耦合效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 水平 方向 对称 高阶超模 耦合 波导 探测器 | ||
【主权项】:
一种水平方向对称的高阶超模方向耦合波导探测器,其特征在于,包括从下往上依次设置的衬底层(1)、波导层(2)、吸收层(3)以及覆盖层(4);所述波导层(2)由左波导(21)、中波导(22)和右波导(23)并排构成,左波导(21)和右波导(23)结构相同且呈对称分布设置;所述吸收层(3)包括第一吸收层(31)和第二吸收层(32),第一吸收层(31)放置于左波导(21)上,第二吸收层(32)放置于右波导(23)上;所述覆盖层(4)包括第一覆盖层(41)和第二覆盖层(42),第一覆盖层(41)覆盖于第一吸收层(31)顶上,第二覆盖层(42)覆盖于第二吸收层(32)顶上。
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