[发明专利]环境监测系统在审
申请号: | 201710176643.5 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN108627196A | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 黎辅宪;董启峰;沈香吟 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02;G08C17/02 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 顾伯兴 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种环境监测系统用于监测洁净室的环境参数。环境监测系统包括装载盒、运载单元以及处理器。装载盒包括壳体、无线通信模块以及传感器。传感器及无线通信模块设置于壳体内,其中传感器用以感测环境参数。运载单元包括导轨以及运载机构。导轨布设于洁净室内,运载机构被配置为拾取装载盒并沿着导轨运载装载盒。传感器随着装载盒于洁净室内移动并进行感测,以产生多个感测信息。处理器耦接无线通信模块,装载盒通过无线通信协议传送感测信息至处理器。 | ||
搜索关键词: | 装载盒 传感器 环境监测系统 无线通信模块 处理器 导轨 感测信息 环境参数 运载单元 运载机构 感测 无线通信协议 洁净 室内移动 洁净室 布设 壳体 拾取 耦接 运载 传送 体内 室内 监测 配置 | ||
【主权项】:
1.一种环境监测系统,用于监测洁净室的环境参数,其特征在于,包括:装载盒,包括壳体、无线通信模块以及传感器,该传感器及该无线通信模块设置于该装载盒内并与该装载盒耦接,其中该传感器用以感测该环境参数;运载单元,包括导轨以及运载机构,该导轨布设于该洁净室内,该运载机构用于拾取该装载盒并沿着该导轨运载该装载盒,该传感器随着该装载盒于该洁净室内移动并进行感测,以产生多个感测信息;以及处理器,耦接该无线通信模块,该装载盒通过无线通信协议传送该些感测信息至该处理器。
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