[发明专利]一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法

摘要

本发明涉及一种基于多个单层膜堆叠的新型镀膜方法，该方法是先在多个基底上分别镀上单层膜，然后通过反向堆叠使其中两个单层膜上下堆积，经热处理后，再腐蚀掉上层基底，制得复合双层膜，通过反向堆叠使复合双层膜上再堆积一个单层膜，经热处理后，腐蚀掉上层基底，制得复合三层膜，依次重复反向堆叠、热处理、腐蚀，即可制得多个单层膜堆叠而成的复合膜。与现有技术相比，本发明方法以溶胶凝胶法为基础，工艺流程简单，无需真空高温设备，能有效构造理想多层膜系，且绿色环保，成本低廉，有效保证了各个膜层的质量，避免了直接镀多层膜产生的应力开裂问题，成膜效果良好，具有很好的应用前景。

主权项

1.一种基于多个单层膜堆叠的镀膜方法，其特征在于，该方法是先在多个基底上分别镀上单层膜，然后通过反向堆叠使其中两个单层膜上下堆积，经热处理后，再腐蚀掉上层基底，制得复合双层膜，通过反向堆叠使复合双层膜上再堆积一个单层膜，经热处理后，腐蚀掉上层基底，制得复合三层膜，依次重复反向堆叠、热处理、腐蚀，即可制得多个单层膜堆叠而成的复合膜，所述的单层膜通过溶胶凝胶法镀附在基底上，所述的基底为纯度大于99％的铜箔基底，所述的腐蚀采用的腐蚀液为亚硫酸铵溶液。