[发明专利]多层真空夹层一维光子晶体膜系结构有效
| 申请号： | 201710177817.X | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN107085248B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 沈诗雯;李志远;徐僖禧;欧阳一平;马汉青;孙哲;张志华 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B1/00 | 分类号： | G02B1/00;B32B5/14;B32B7/02;B32B7/04 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及多层真空夹层一维光子晶体膜系结构，该结构由多层高折射率材料薄膜层与厚度可调的真空薄层交替堆叠而成，上下相邻两高折射率材料薄膜层之间设有宽度调节器，所述的真空薄层分布在宽度调节器与上下相邻两高折射率材料薄膜层共同围设而成的空腔中，并且所述的可调真空薄层中还设有弹性支撑梁。与现有技术相比，本发明将堆叠的多层固体膜系转化成了单层膜与真空层(可调真空薄层)的组合，避免了多层膜系难以镀制、易开裂的问题，通过调节真空薄层的厚度，根据光子晶体不同结构的不同选择透过性，可以改变得到的光谱，并具有更好的改变温度的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 真空 夹层 光子 晶体 结构 | ||
【主权项】：
1.多层真空夹层一维光子晶体膜系结构，其特征在于，该结构由多层高折射率材料薄膜层与厚度可调的真空薄层交替堆叠而成，形成单层膜与可调真空薄层的组合，上下相邻两高折射率材料薄膜层之间设有宽度调节器，所述的真空薄层分布在宽度调节器与上下相邻两高折射率材料薄膜层共同围设而成的空腔中，并且所述的可调真空薄层中还设有弹性支撑梁。
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