[发明专利]一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法在审
| 申请号： | 201710178516.9 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN106949914A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 刘铎;高乃坤;赵东方;贾冉;颜为山;张玲;张冬冬;罗雯耀 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司37219 | 代理人： | 吕利敏 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，包括在所述微悬臂梁上制备局域等离激元结构、采集因光激励微悬臂梁振动所发出的振动信号。金属纳米颗粒将吸收的光能转化为电子谐振的动能，继而通过晶格对电子的散射把这一能量转化为晶格的振动能。金纳米颗粒也可使微悬臂梁的有效质量增加从而可以提高其品质子，这可以有效提高微悬臂梁传感器的探测精度和分辨率。另外，结合了等离激元的微悬臂梁也可以作为一个性能优良的光功率计，检测限可达pm/nW。本发明有效解决了光激发微悬臂梁振动效率低的问题，且简洁方便，对基于光激发微悬臂梁振动的发展及应用具有重要的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 局域 离激元 结构 提高 光热 激发 悬臂梁 振动 能量 转换 效率 方法 | ||
【主权项】：
一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法，其特征在于，该方法包括：在所述微悬臂梁上制备局域等离激元结构、采集因光激励微悬臂梁振动所发出的振动信号。
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