[发明专利]麦克风及制作方法在审
申请号: | 201710180156.6 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN108632689A | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 丁攀;王强;俞宏俊;石慧 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H04R1/08 | 分类号: | H04R1/08;H04R7/12;H04R31/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 曹蓓 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种麦克风及制作方法,涉及半导体技术领域。其中,本发明的一种麦克风包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,振动膜极板上包括一个或多个孔。这样的麦克风的振动膜极板上包括孔,能够允许压缩空气从孔中穿过,从而减少对振动膜极板的压力,降低振动膜极板断裂的可能性,提高麦克风的抗声性能。 | ||
搜索关键词: | 麦克风 振动膜 极板 半导体技术领域 电容器 压缩空气 背极板 断裂的 制作 穿过 | ||
【主权项】:
1.一种麦克风,包括:由背极板和振动膜极板组成的电容器;其中,所述振动膜极板上包括一个或多个孔。
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