[发明专利]一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法

摘要

本发明公开了一种判别并记录硅片位置的检测装置及方法，属于半导体搬运设备技术领域。硅片盒的插槽排列方式为梯形排列，上端有开口，从上向下看可以观测到每层硅片的边缘，红外线距离传感器安装在硅片盒的上方，信号发射路线沿竖直方向，气缸推动传感器进行直线运动，同时传感器的信号发射二极管通过硅片盒上端的开口向硅片发射信号，信号经过每层硅片边缘反射回来被接收二极管接收，位于不同层的硅片反射的信号不同，反射回来的信号经过采集卡传输给工控机，工控机通过软件对采集到的信号进行分析归类，机械手再根据工控机的数据进行工艺操作。本发明为硅片位置的识别和机械手操作的可靠性提供了实验基础。

主权项

1.一种判别并记录硅片位置的检测装置，其特征在于：检测装置由机械结构模块和信号采集模块两部分构成；其中机械结构模块包括硅片(1)、硅片盒(2)、竖直支架(3)、水平支架(9)、气缸本体(4)、气缸活塞(5)、水平导轨(8)、传感器连接板(12)和滑块横梁(6)；硅片(1)放置在硅片盒(2)的插槽中，硅片盒(2)和竖直支架(3)底部安装在同一工作平面上，竖直支架(3)通过螺栓安装在工作平面上，水平支架(9)与竖直支架通过螺栓连接，气缸本体(4)安装在竖直支架的上端水平部分的中间位置上，气缸活塞(5)方向与水平支架(9)方向一致，水平导轨(8)安装在水平支架(9)上，水平导轨(8)的两个滑块上安装有滑块横梁(6)，滑块横梁的一侧安装传感器连接板(12)，另一侧与气缸活塞(5)相连接；所述的信号采集模块包括红外线距离传感器(7)、采集卡(10)和工控机(11)；红外线距离传感器(7)通过螺栓安装在传感器连接板(12)上，传感器的信号发射二极管和接收二极管方向向下，信号发射路线沿竖直方向，气缸活塞(5)推动红外线距离传感器(7)沿水平方向运动，同时红外线距离传感器(7)向硅片(1)发射信号，反射回来的信号通过采集卡(10)传输给工控机(11)，工控机(11)对采集到的信号进行分析处理；硅片盒(2)各层插槽的排列方式变为梯形排列，每相邻两层插槽位置的中心在水平方向的距离都为1mm。