[发明专利]一种光掩膜版以及石墨烯发光显示器件的制备方法有效
| 申请号： | 201710182670.3 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106960896B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 樊勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/36;H01L33/34;H01L21/84;H01L27/15 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;侯艺 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示技术领域，尤其是一种石墨烯发光显示器的制备方法，包括如下步骤：在形成有薄膜晶体管的基板表面，制备氧化石墨烯薄膜；提供一光掩膜版与所述氧化石墨烯薄膜对应，使光通过所述光掩膜版辐射到所述氧化石墨烯薄膜上，形成石墨烯发光晶体管的源极、漏极和石墨烯量子点层；其中，所述光掩膜版包括：全透明部，其对应于所述源极、漏极所在区域；遮光部，其对应于所述薄膜晶体管所在区域；半透明部，其对应于所述石墨烯量子点层的所在区域；在形成石墨烯发光晶体管的基板表面依次形成绝缘层和隔水隔氧层。本发明还提供这种石墨烯发光显示器的结构。本发明石墨烯发光晶体管的源漏极采用相同的电极材料，制备工艺一道光掩膜版即可成型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光掩膜版 以及 石墨 发光 显示 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石墨烯发光显示器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：在基板上制备薄膜晶体管阵列和石墨烯发光晶体管的栅极、栅绝缘层，所述石墨烯发光晶体管的栅极与所述薄膜晶体管的栅极通过同一个制程获得；在形成有薄膜晶体管的基板表面，将氧化石墨烯分散液涂布均匀，形成氧化石墨烯薄膜；提供一光掩膜版与所述氧化石墨烯薄膜对应，使光通过所述光掩膜版辐射到所述氧化石墨烯薄膜上，形成石墨烯发光晶体管的源极、漏极和石墨烯量子点层；在形成石墨烯发光晶体管的基板表面依次形成绝缘层和隔水隔氧层；其中，所述光掩膜版包括：全透明部，其对应于所述源极、漏极所在区域；遮光部，其对应于所述薄膜晶体管所在区域；半透明部，其对应于所述石墨烯量子点层的所在区域。
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