[发明专利]一种适应不同尺寸花篮的自动插片装置有效
申请号: | 201710183293.5 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN106876526B | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 杨宣教 | 申请(专利权)人: | 张家港市德昶自动化科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 尹英 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇李*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种适应不同尺寸花篮的自动插片装置,包括机架、以及安装于机架上的第一提升装置、分片装置、硅片吸片装置、硅片传动装置和第二提升装置,所述第一提升装置和第二提升装置分别位于硅片传动装置在传动方向的两端,所述硅片传动装置的两侧分别设置有第一护杆和第二护杆,所述第一护杆和第二护杆之间距离可调。本发明通过间距可调的护杆,可适应于不同尺寸硅片的运输和插片。 | ||
搜索关键词: | 一种 适应 不同 尺寸 花篮 自动 装置 | ||
【主权项】:
1.一种适应不同尺寸花篮的自动插片装置,其特征在于,包括机架、以及安装于机架上的第一提升装置、分片装置、硅片吸片装置、硅片传动装置和第二提升装置,所述第一提升装置和第二提升装置分别位于硅片传动装置在传动方向的两端,所述硅片传动装置的两侧分别设置有第一护杆和第二护杆,所述第一护杆和第二护杆之间距离可调,第一提升装置包括第一托板、滑杆、第二动力装置和滑块,第一托板具有水平的支撑面,滑杆竖直安装于机架上,滑块套设于滑杆上,第二动力装置连接于滑块并可驱动其在竖直方向上移动,滑块与第一托板之间相固定;硅片吸片装置设置于第一托板的正上方,硅片吸片装置包括支架,支架底部具有与水平面呈一定夹角的工作面,工作面靠近第一提升装置的一端低于工作面靠近硅片传动装置的一端,工作面上开设有至少一个气孔,该气孔与负压吸气装置连接,支架的两侧分别对称安装有三个导轮,位于一侧的三个导轮呈三角形排列,其中位于下方的两个导轮所在直线平行于所述工作面,且该两个导轮的底面凸伸于所述工作面的下方,位于同一侧的三个导轮的外侧绕设有传送带,硅片吸片装置还包括一电机,位于两侧的导轮之间连接有传动轴,电机连接于传动轴并可驱动其转动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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