[发明专利]能量敏感性组合物、固化物及固化物的制造方法

摘要

本发明涉及能量敏感性组合物、固化物及固化物的制造方法。本发明的课题在于提供热重量稳定性优异的能量敏感性组合物、以及使其固化而得到的固化物及固化物的制造方法。本发明提供一种能量敏感性组合物，其包含选自下述组中的至少1种化合物成分(P)、和(Q)式(a1)表示的锍盐，所述组由(P1)基于阳离子性及/或酸催化性方式的聚合性以及/或者交联性化合物、(P2)在酸的作用下在显影液中的溶解性增大的化合物、和(Px)自由基聚合性或交联性的化合物构成。

主权项

能量敏感性组合物，其包含：选自下述组中的至少1种化合物成分(P)、和(Q)下述式(a1)表示的锍盐，所述组由：(P1)基于阳离子性及/或酸催化性方式的聚合性以及/或者交联性化合物、(P2)在酸的作用下在显影液中的溶解性增大的化合物、和(Px)自由基聚合性或交联性的化合物构成，式(a1)中，R1和R2独立地表示可被卤素原子取代的烷基或下述式(a2)表示的基团，R1和R2可相互键合并与式中的硫原子一同形成环，R3表示下述式(a3)表示的基团或下述式(a4)表示的基团，A1表示S、O、或Se，X‑表示一价的阴离子，其中，R1和R2不会同时为可被卤素原子取代的烷基，式(a2)中，环Z1表示芳香族烃环，R4表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、烷氧基羰基、酰氧基、烷基硫基、噻吩基、噻吩基羰基、呋喃基、呋喃基羰基、硒吩基、硒吩基羰基、杂环式脂肪族烃基、烷基亚磺酰基、烷基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m1表示0以上的整数，式(a3)中，R5表示亚烷基或下述式(a5)表示的基团，所述亚烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，R6表示烷基或下述式(a6)表示的基团，所述烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，A2表示单键、S、O、亚磺酰基、或羰基，n1表示0或1，式(a4)中，R7和R8独立地表示亚烷基或下述式(a5)表示的基团，所述亚烷基可以被羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基或卤素原子取代，R9和R10独立地表示可被卤素原子取代的烷基或所述式(a2)表示的基团，R9和R10可相互键合并与式中的硫原子一同形成环，A3表示单键、S、O、亚磺酰基、或羰基，X‑如上所述，n2表示0或1，其中，R9和R10不会同时为可被卤素原子取代的烷基，式(a5)中，环Z2表示芳香族烃环，R11表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m2表示0以上的整数，式(a6)中，环Z3表示芳香族烃环，R12表示可被卤素原子取代的烷基、羟基、烷氧基、烷基羰基、芳基羰基、烷氧基羰基、芳基氧基羰基、芳基硫基羰基、酰氧基、芳基硫基、烷基硫基、噻吩基羰基、呋喃基羰基、硒吩基羰基、芳基、杂环式烃基、芳基氧基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、羟基(聚)亚烷基氧基、可被取代的氨基、氰基、硝基、或卤素原子，m3表示0以上的整数。