[发明专利]一种制备复合物场效应晶体管的方法有效
| 申请号： | 201710192082.8 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108666422B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 吴雨辰;刘芸;江雷 | 申请（专利权）人： | 北京赛特超润界面科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/40 | 分类号： | H01L51/40;H01L51/05;H01L51/30 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 王宇杨;武玥 |
| 地址： | 101320 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于微电子器件领域，具体地，涉及一种制备复合物场效应晶体管的方法。本发明包括以下步骤：1)将聚合物分子溶解在有机溶剂中得到聚合物溶液，将石墨烯浸泡于聚合物溶液中，得到混合分散液；2)对混合分散液抽滤清洗，得到表面吸附聚合物的石墨烯复合物；3)将石墨烯复合物再次分散于有机溶剂中，制得复合物分散液；4)将复合物分散液滴加在具有微柱结构的硅片上并盖上一层平板基底，使聚合物‑石墨烯复合物在平板表面微柱位置自组装成规整的一维阵列，制成复合物场效应晶体管。本发明所制备的聚合物‑石墨烯复合结构场效应晶体管的性能较之于单纯聚合物场效应晶体管有了显著的提高，方法简单方便，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 场效应晶体管 石墨烯复合物 复合物分散液 混合分散液 聚合物溶液 制备复合物 有机溶剂 聚合物 石墨烯 微柱 表面吸附聚合物 单纯聚合物 聚合物分子 微电子器件 复合结构 平板表面 一维阵列 规整 复合物 自组装 硅片 抽滤 滴加 基底 制备 浸泡 清洗 溶解 | ||
【主权项】：
1.一种制备复合物场效应晶体管的方法，包括以下步骤：1）将聚噻吩类p型共轭高分子溶解在有机溶剂中得到聚合物溶液，将石墨烯浸泡于聚合物溶液中，使石墨烯与聚合物分子相互吸附，得到混合分散液；2）利用过滤膜对混合分散液进行抽滤，将滤渣烘干后得到表面吸附聚合物的石墨烯复合物；3）将步骤2）得到的石墨烯复合物再次分散于有机溶剂中，制得复合物分散液；4）将复合物分散液滴加在具有微柱结构的硅片上并盖上一层平板基底，使聚合物‑石墨烯复合物在微柱顶端自组装成规整的一维阵列，制成复合物场效应晶体管。
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