[发明专利]一种具有VO2镀膜的智能节能玻璃的镀膜工艺

摘要

本发明公开了一种具有VO₂镀膜的智能节能玻璃的镀膜工艺，包括玻璃基底、VO₂镀层和增透层，镀膜工艺为：将玻璃基底超声清洗，烘干备用；将玻璃基底和钨掺杂纳米VO₂放入真空室内，抽真空，加热玻璃基底，充入氩气，施加负偏压，辉光放电清洗，充入氮气，施加负偏压，调解多弧电流，进行多弧离子镀，得具有VO₂镀层的玻璃基底；将Nd₂O₅和B₂O₃混合，放入坩埚中，将具有VO₂镀层的玻璃基底放入真空室中，抽真空，采用电子束蒸发源加热镀膜，镀膜完成后，即得具有VO₂镀膜的智能节能玻璃。本发明制备的智能节能玻璃具有低发射率，高可见光透过率等优点，同时能够对不同季节的阳光热调控，实现了冬暖夏凉的智能节能模式。

主权项

1.一种具有VO2镀膜的智能节能玻璃，包括玻璃基底、VO2镀层和增透层，其特征在于，所述具有VO2镀膜的智能节能玻璃的镀膜工艺，包括以下步骤：步骤S1，玻璃前处理：将所述玻璃基底放入体积分数为50％～70％的乙醇溶液中，进行超声清洗5min～8min，清洗2次～3次，然后烘干备用；步骤S2，VO2镀层：将步骤S1处理后的玻璃基底作为衬底放入真空室中的阴极位置上，将钨掺杂纳米VO2作为镀层材料放入真空室内，抽真空至真空度为10‑4Pa～10‑6Pa，加热玻璃基底，然后充入氩气使真空度为10‑1Pa～10‑2Pa，开启电源，对玻璃基底施加负偏压500V～800V，进行辉光放电清洗6min～10min，然后在真空室内充入氮气至真空度为10‑1Pa～10‑2Pa，对玻璃基底施加负偏压为160V～200V，调解多弧电流至250A～300A，进行多弧离子镀VO2镀层，即得具有VO2镀层的玻璃基底；步骤S3，增透层：将Nd2O5和B2O3混合作为镀层材料，所述Nd2O5和B2O3的质量比为：1:0.05～0.1，放入真空室的坩埚中，将步骤S2得到的具有VO2镀层的玻璃基底作为衬底放入真空室中，抽真空至真空度为10‑2Pa～10‑4Pa，然后开启电源，采用电子束蒸发源加热镀膜，镀膜完成后，即得所述具有VO2镀膜的智能节能玻璃。