[发明专利]一种晶圆针测机在审
| 申请号： | 201710195259.X | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106990348A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 王印玺;陶源;江姜 | 申请（专利权）人： | 安徽超元半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G05D27/02 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司31300 | 代理人： | 董泽宇 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市贵池区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆针测机，属于晶圆测试设备领域。包括针测机主体、晶圆传输装置、空气净化器一、空气净化器二和温湿度控制器，所述晶圆传输装置与针测机主体相连，空气净化器一固定在晶圆传输装置上，针测机主体上安装有空气净化器二和温湿度控制器；本发明可以在非洁净室环境下进行晶圆测试，解决了针测机对晶圆做针测必须在无尘室内进行的问题，为企业大大节省了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆针测机 | ||
【主权项】：
一种晶圆针测机，其特征在于：包括针测机主体、晶圆传输装置、空气净化器一、空气净化器二和温湿度控制器，所述晶圆传输装置与针测机主体相连，空气净化器一固定在晶圆传输装置上，针测机主体上安装有空气净化器二和温湿度控制器。
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