[发明专利]一种玻璃微流道的制备系统有效
申请号: | 201710197008.5 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN106695119B | 公开(公告)日: | 2018-11-02 |
发明(设计)人: | 谢小柱;刘帅;魏昕;胡伟;翁清;曹州权 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | B23K26/082 | 分类号: | B23K26/082;B23K26/384;B23K26/40 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 510062 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种玻璃微流道的制备系统,包括第一移动平台和切割头透镜组,第一移动平台,用于依据计算机发出的控制指令在x/y平面上移动;还包括红外激光器以及固定在第一移动平台上的基板,其中:红外激光器,用于发射红外激光;切割头透镜组,用于接收红外激光并使红外激光聚焦在基板的上表面上,以便对放置在基板的上表面的玻璃基片进行微流道背刻得到玻璃微流道基片。本发明实现了利用红外激光制备玻璃微流道,降低了整体成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃 微流道 制备 系统 | ||
【主权项】:
1.一种玻璃微流道的制备系统,包括第一移动平台和切割头透镜组,所述第一移动平台,用于依据计算机发出的控制指令在x/y平面上移动;其特征在于,还包括红外激光器以及固定在第一移动平台上的基板,其中:红外激光器,用于发射红外激光;切割头透镜组,用于接收所述红外激光并使所述红外激光聚焦在所述基板的上表面上,以便对放置在所述基板的上表面的玻璃基片进行微流道背刻得到玻璃微流道基片;其中:所述基板为石墨基板。
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