[发明专利]一种单晶炉真空管道清理方法在审
| 申请号： | 201710197096.9 | 申请日： | 2017-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN106914460A | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 周杰;沈浩锋;周林伟;朱伟忠;苏静洪 | 申请（专利权）人： | 天通吉成机器技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;F16L55/24;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 李海建 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种单晶炉真空管道清理方法，在长晶加热时，向真空管道内通入含氧气体，所述含氧气体与所述真空管道内壁上附着的SiOx进行燃烧反应，得到粉末状物质，所述粉末状物质被抽吸排出所述真空管道外。本单晶炉真空管道清理方法防止了真空管道堵塞，利于长时间连续长晶工作，从而提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空 管道 清理 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶炉真空管道清理方法，其特征在于，在长晶加热时，向真空管道内通入含氧气体，所述含氧气体与所述真空管道内壁上附着的SiOx进行燃烧反应，得到粉末状物质，所述粉末状物质被抽吸排出所述真空管道外。
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