[发明专利]刀片涂层夹具及涂层机在审
申请号: | 201710199222.4 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN108660440A | 公开(公告)日: | 2018-10-16 |
发明(设计)人: | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C14/50 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种刀片涂层夹具,基底上设置有夹装槽,即使待涂层的刀片上未设置孔或者槽等固定结构,也能通过基底上的夹装槽等固定结构固定所述刀片进行涂层作业;并且所述基底可相对滑动地装设在所述刻度杆上,即可根据所需的靶机距将所述刀片固定在所述刻度杆上对应所需靶机距的刻度位置处;当所述刀片涂层夹具安装至涂层机内时,待涂层的刀片与所述涂层靶材之间的距离将为预设的靶机距。显然,本发明的刀片涂层夹具不仅能满足平面状刀具的涂层作业,而且可满足不同靶机距要求的涂层作业。本发明还提供一种具有上述刀片涂层夹具的涂层机。 | ||
搜索关键词: | 刀片涂层 夹具 刀片 涂层作业 涂层机 基底 固定结构 夹装槽 刻度杆 夹具安装 刻度位置 相对滑动 平面状 设置孔 靶材 地装 预设 刀具 | ||
【主权项】:
1.一种刀片涂层夹具,用以固定待涂层的刀片,其特征在于,所述刀片涂层夹具包括刻度杆以及基底,所述基底具有一装配面以及设置在所述装配面上的若干夹持槽,所述夹装槽匹配所述待涂层的刀片设置以夹持所述待涂层的刀片,所述基底装设在所述刻度杆上,并可沿所述刻度杆的长度延伸方向滑动,以调节固定在所述基底上的所述待涂层的刀片与一涂层机中的涂层靶材之间的距离。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的