[发明专利]一种冷却板和蒸镀装置在审
| 申请号： | 201710201664.8 | 申请日： | 2017-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106893982A | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 杜小波;王有为 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 张京波,曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种冷却板和蒸镀装置。冷却板包括板体；多个并联的冷却管路，相间隔地设置在板体内，用于对板体进行分区冷却；和与冷却管路一一对应连接的多个流量阀，用于一一对应调节多个冷却管路内的冷却液的流量。本发明提供的冷却板，板体内相间隔地设置有多个并联的冷却管路，多个冷却管路与多个流量阀一一对应连接，多个并联的冷却管路用于对板体进行分区冷却，多个所述流量阀用于一一对应调节多个冷却管路内的冷却液的流量，以使得板体上各区域的温度相一致，确保在应用于蒸镀装置时掩膜版不同区域的形变统一，玻璃基板的蒸镀精度可更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种冷却板，其特征在于，包括：板体；和多个并联的冷却管路，相间隔地设置在所述板体内，用于对所述板体进行分区冷却；和与所述冷却管路一一对应连接的多个流量阀，用于一一对应调节多个所述冷却管路内的冷却液的流量。
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