[发明专利]干湿一体机及生产线

摘要

本发明提供了一种干湿一体机，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；本发明的整套设备为实现硅片的“干法制绒”工艺，集成了硅片自动插片、前清洗、硅片自动化转换到干法制绒设备上、干法制绒、硅片自动化叠片等工艺和技术。该整套设备不需要人工干预，全部使用自动化设备。在此基础上，本发明还提供了一种采用该干湿一体机的生产线。

主权项

1.一种干湿一体机，其特征在于，包括插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构、RIE干法制绒机、自动叠片机和花篮自动回转机构；所述插片上料机、自动化前清洗机、自动化上下料机构依次连接，所述RIE干法制绒机和自动叠片机分别与所述自动化上下料机构连接，所述花篮自动回转机构安装在所述插片上料机和所述自动化前清洗机之间；所述插片上料机用于将一整叠的硅片插入到空花篮中并送入所述自动化前清洗机；所述自动化前清洗机用于对硅片进行去损伤清洗；所述自动化上下料机构将经过清洗的硅片从花篮中取出放到RIE干法制绒机上，并将制绒后的硅片从RIE干法制绒机上取下；所述RIE干法制绒机用于在硅片表面蚀刻形成减反射层绒面；所述自动叠片机将制绒过的硅片取下，叠成一定数量；所述花篮自动回转机构将取走硅片的空花篮输送到插片上料机的出料口处；所述插片上料机包括硅片存放装置、硅片输送装置、花篮提升机构、取料机械手和硅片提升装置；所述硅片存放装置、硅片输送装置和花篮提升机构依次连接；所述取料机械手安装在所述硅片存放装置上方；所述硅片提升装置安装在所述硅片存放装置下方并与所述硅片存放装置连接，从而改变硅片存放装置的高度；所述自动化上下料机构包括上料花篮进出模组、上料花篮升降模组、上料晶片进给模组、上料移载模组、上料载板定位输送模组、升降模组、下料晶片进给模组、下料移载模组和下料载板定位输送模组；所述上料花篮进出模组用于将盛满硅片的花篮放入上料花篮升降模组并将空花篮移出；所述上料花篮升降模组用于将盛满硅片的花篮移动到进花篮位置，满花篮进入，将取走硅片的空花篮移动到出花篮位置，空花篮流出；所述上料晶片进给模组将硅片移动到载板空位对应的位置并导正；所述上料移载模组将硅片移动到载板位置，放硅片；所述上料载板定位输送模组，对载板进行夹紧定位，输送到升降模组；所述升降模组将放好硅片的载板传输到RIE干法制绒机；所述下料载板定位输送模组对RIE干法制绒机制绒后的载板进行夹紧定位，输送载板到所述下料移载模组；所述下料移载模组将载板上的硅片放置到晶片进给流水线上；所述下料晶片进给模组将流水线上的硅片输送到打包流水线上。