[发明专利]表面量测方法及表面量测系统有效
| 申请号： | 201710206887.3 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN108662992B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 周智川;杨沛哲;陈建国 | 申请（专利权）人： | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 梁丽超;田喜庆 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种表面量测方法及表面量测系统。表面量测方法用以量测待测晶圆的表面，包含以下步骤：利用表面量测装置对待测晶圆进行表面扫描，以取得待测晶圆的表面量测信息；利用移动装置依据表面量测信息的其中一个高度数据，使白光干涉仪移动至启始扫描位置。白光干涉仪包含有能控制干涉物镜移动的微致动单元；使白光干涉仪于启始扫描位置，利用微致动单元控制干涉物镜移动，以进行影像获取作业。其中，移动装置的单位移动步距大于微致动单元的单位移动步距，且移动装置的移动速度大于微致动单元的移动速度。通过上述步骤可大幅提升整体量测速度。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种表面量测方法，其特征在于，所述表面量测方法用以量测一待测晶圆的表面，该表面量测方法包含以下步骤：一表面信息获取步骤：利用一表面量测装置，对该待测晶圆进行表面扫描，以取得该待测晶圆的一表面量测信息，该表面量测信息包含有多个高度数据；一移动至启始扫描位置步骤：依据其中一个高度数据，利用一移动装置使一白光干涉仪位于一启始扫描位置；其中，该白光干涉仪包含有一干涉物镜及一微致动单元，该微致动单元能控制该干涉物镜于一纵向方向移动；以及一影像获取步骤：使该白光干涉仪于该启始扫描位置，利用该微致动单元控制该干涉物镜于该纵向方向移动，以使该白光干涉仪对该待测晶圆进行影像获取作业；其中，该移动装置的单位移动步距大于该微致动单元的单位移动步距，且该移动装置的移动速度大于该微致动单元的移动速度。
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