[发明专利]容器收纳设备

摘要

气体供给装置（3）具备配管（19）、质量流量控制器（20）、多个连接部（18），前述多个连接部（18）与被收纳于供给收纳部（1a）的容器（W）连接，前述配管（19）将气体向多个连接部（18）分岔地供给，前述质量流量控制器（20）控制在配管（19）内流通的气体的流量，配管（19）具备第1配管（23）、第2配管（24）、分岔配管（26），前述第1配管（23）被相对于供给收纳部（1a）的每一个设置，前述第2配管（24）被比第1配管（23）靠上游侧地设置，前述分岔配管（26）使被从第2配管（24）供给的气体向第1配管（23）分岔，质量流量控制器（20）被设置于第2配管（24），且被设置于设置区域（E2）。

主权项

一种容器收纳设备，具备收纳部、气体供给装置，前述收纳部被在收纳区域设置多个，收纳容器，前述气体供给装置将前述收纳区域的多个前述收纳部的一部分或全部作为供给收纳部，向被收纳于前述供给收纳部的前述容器的内部供给气体，其特征在于，前述气体供给装置具备配管、质量流量控制器和多个连接部，前述多个连接部被相对于多个前述供给收纳部的每一个设置，且与被收纳于前述供给收纳部的前述容器连接，前述配管将被从设置于前述收纳区域的外部的供给源供给的气体向前述多个连接部分岔地供给，前述质量流量控制器控制在前述配管内流通的气体的流量，前述配管具备第2配管、分岔配管、两个以上的第1配管，前述两个以上的第1配管相对于由多个前述供给收纳部的一部分或全部构成的供给收纳部组，被相对于构成前述供给收纳部组的两个以上的前述供给收纳部的每一个设置，前述第2配管形成在气体的流通方向上比前述两个以上的第1配管靠上游侧设置的单一的流路，前述分岔配管使被从前述第2配管供给的气体向前述两个以上的第1配管分岔，前述质量流量控制器被设置于前述第2配管的前述单一的流路上，设置于设置区域，前述设置区域被设定于前述收纳区域的外部。