[发明专利]薄膜材料的测试系统及测试方法有效
| 申请号： | 201710208787.4 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107063860B | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 王磊;张文奇;王珺;杨辰 | 申请（专利权）人： | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司;复旦大学 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/02 |
| 代理公司： | 11332 北京品源专利代理有限公司 | 代理人： | 孟金喆;胡彬<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区太湖国*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种薄膜材料的测试系统及测试方法，其中测试系统包括支撑框架和拉力设备；支撑框架包括位于两端的固定部，以及用于连接位于两端的固定部的保护条，固定部和保护条围成一镂空结构，位于两端的固定部用于固定测试结构的两端；拉力设备上设置有夹具，夹具用于夹持支撑框架上位于两端的固定部和测试结构的两端进行拉伸测试。本发明使得薄膜材料的单轴拉伸测试简单，降低了对拉力设备和夹具的特殊要求。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 材料 测试 系统 方法 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜材料的测试系统，其特征在于，包括支撑框架和拉力设备；/n所述支撑框架包括位于两端的固定部，以及用于连接所述位于两端的固定部的保护条，所述固定部和所述保护条围成一镂空结构，所述位于两端的固定部用于固定测试结构的两端；其中，所述测试结构包括薄膜材料和载体，所述载体位于所述薄膜材料的两端，且位于所述薄膜材料的同一表面；/n所述拉力设备上设置有夹具，所述夹具用于夹持所述支撑框架上位于两端的固定部和所述测试结构的两端进行拉伸测试；/n所述测试结构的制作方法包括：/n在载体的上表面沉积薄膜材料；/n通过光刻工艺，对所述薄膜材料进行刻蚀，形成至少一个凹槽，所述凹槽底部暴露出所述载体的上表面，以及所述凹槽贯穿所述载体的上表面；/n对所述载体的下表面进行减薄；/n通过光刻工艺，对所述载体的下表面进行刻蚀，将所述载体对应所述凹槽的部分刻蚀掉，并将所述载体对应所述薄膜材料的部分刻蚀掉中间位置的所述载体，以至露出所述薄膜材料，形成中间悬空的测试结构。/n
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