[发明专利]含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备及方法

摘要

本发明公开一种含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备及方法，包括有蚀刻机、废液收集槽、废液储罐、离子膜电解槽以及循环槽；离子膜电解槽包括有阳极区和阴极区；该循环槽包括有阳极循环槽和阴极循环槽，离子膜电解槽电解后的阳极液和阴极液分别流入阳极循环槽内和阴极循环槽内，阳极循环槽内的阳极液经第一高压泵抽入蚀刻机内，阴极循环槽内的阴极液经调温后由第二高压泵抽入离子膜电解槽的阴极区构成一个循环。该工艺是一种在线式的再生工艺，再生后三氯化铁蚀刻液铜、镍、铬离子浓度降低，氧化还原电位到达要求，可循环使用，回收的铜、镍、铬状合金可直接销售，经济效益显著。

主权项

一种含铜、镍和铬的三氯化铁蚀刻液再生回用设备，其特征在于：包括有一蚀刻机，蚀刻机内安装有用于调控三氯化铁蚀刻液的药水参数的监控装置；一废液收集槽，蚀刻机内的废液通过第一管道流入废液收集槽中进行收集；一废液储罐，由一第一污水泵通过第二管道将废液收集槽内的废液抽入该废液储罐中进行储存；一离子膜电解槽，由一第二污水泵通过第三管道将废液储罐内的废液抽入该离子膜电解槽进行电解，离子膜电解槽包括有阳极区和阴极区；一循环槽，循环槽包括有阳极循环槽和阴极循环槽，离子膜电解槽电解后的阳极液和阴极液分别经第四管道和第五管道流入阳极循环槽内和阴极循环槽内，阳极循环槽内的阳极液经一第一高压泵通过第六管道抽入上述蚀刻机内，阴极循环槽内的阴极液经调温后由一第二高压泵通过第七管道抽入离子膜电解槽的阴极区构成一个循环。