[发明专利]含铜酸性蚀刻液循环再生回用设备及方法

摘要

本发明公开一种含铜酸性蚀刻液循环再生回用设备及方法，包括有蚀刻生产线、废液收集缸、废液储罐、电解槽、循环槽以及蚀刻液监控槽；该废液收集缸于与蚀刻生产线相连通，该废液储罐与废液收集缸相连通，该电解槽与废液储罐相连通，该循环槽与电解槽相连通，循环槽内的电解液抽回电解槽中循环使用，该蚀刻液监控槽与循环槽相连通，且该蚀刻液监控槽与蚀刻生产线相连通构成一循环。本发明大大节省了氧化剂和盐酸，提高了生产效率，设备性能稳定，操作维护简单，自动化程度高，且处理后的水中铜含量达到国家排放标准，成功地解决了含铜废水难处理到国家排放标准的难题。

主权项

一种含铜酸性蚀刻液循环再生回用设备，其特征在于：包括有一蚀刻生产线，蚀刻生产线产生含铜酸性蚀刻液；一废液收集缸，废液收集缸用于收集蚀刻生产线产生的含铜酸性蚀刻废液；一废液储罐，由一第一污水泵将废液收集缸内的含铜酸性蚀刻废液抽入废液储罐中进行存储；一离子膜电解槽，由一第二污水泵通过第一管道将废液储罐内的废液抽入该离子膜电解槽进行电解，离子膜电解槽包括有阳极区和阴极区，该阳极区内安装有涂层钛阳极板，以电催化涂层电极为阳极，该阴极区中安装有阴极板；一循环槽，循环槽包括有阳极循环槽和阴极循环槽，离子膜电解槽电解后的阳极液经阳极区内顶部的第二管道流入阳极循环槽内，阳极循环槽上安装蚀刻液参数监控装置，该蚀刻液参数监控装置把再生蚀刻液调解到正常参数，调解后的再生蚀刻液由第一高压泵抽回离子膜电解槽中进行循环使用，且第一高压泵的输出口连通阳极循环槽的内顶部，离子膜电解槽电解后的阴极液经阴极区内顶部的第三管道流入阴极循环槽内，阴极循环槽内安装有保持恒温作用的钛冷却管，温度恒定后的阴极液由第一高压泵抽回离子膜电解槽中进行循环使用；一蚀刻液监控槽，由一第二高压泵将循环槽内的蚀刻液抽入蚀刻液监控槽中进行存储，且第二高压泵的输出口连通阴极循环槽的内顶部，循环槽与蚀刻液监控槽之间连接有用于去除粗杂质的过滤器，蚀刻液监控槽通过测试废液的氧化还原电位值、比重、酸度和温度来自动控制再生废液的药水参数，调配好的废液流入蚀刻生产线内进行循环使用。