[发明专利]半导体器件有效
申请号: | 201710217824.8 | 申请日: | 2017-04-05 |
公开(公告)号: | CN107968119B | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 徐东灿;卓容奭;朴起宽;朴美善;梁炆承;李承勋;P.唐 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L29/78 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王新华 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开提供了半导体器件。一种半导体器件至少包括第一线图案、栅电极、半导体图案、栅绝缘层和第一间隔物。第一线图案在衬底上并与衬底分隔开。栅电极围绕第一线图案并交叉第一线图案。半导体图案在第一线图案的两侧,并且半导体图案包括交叠第一线图案的部分。栅绝缘层设置在栅电极与第一线图案之间,并且栅绝缘层围绕第一线图案。第一间隔物在第一线图案与衬底之间,并且第一间隔物在栅绝缘层与半导体图案之间。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:第一线图案,在衬底上,所述第一线图案与所述衬底分隔开;栅电极,围绕所述第一线图案并交叉所述第一线图案;半导体图案,在所述第一线图案的至少两侧,所述半导体图案包括第一部分,所述第一部分交叠所述第一线图案;栅绝缘层,在所述栅电极与所述第一线图案之间,并且所述栅绝缘层围绕所述第一线图案;以及第一间隔物,在所述第一线图案与所述衬底之间,并且所述第一间隔物在所述栅绝缘层与所述半导体图案之间。
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