[发明专利]一种新型批量插卸硅片装置在审

专利信息
申请号: 201710217844.5 申请日: 2017-04-05
公开(公告)号: CN106876314A 公开(公告)日: 2017-06-20
发明(设计)人: 刘丽琴 申请(专利权)人: 刘丽琴
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 代理人: 李正方
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及硅片吸笔领域,具体是一种新型批量插卸硅片装置。该新型批量插卸硅片装置,包括手握持面板。本发明是通过底板、镂空盒、第一公共气盒、第二公共气盒和手握持面板组合安装,通过此种安装方式,为了便于两组错位,能直接从花篮中取出,装置的底部安装有多个吸笔头气道盒,且多个吸笔头气道盒分别与第一公共气盒和第二公共气盒连接,通过其可以对硅片进行吸附,此种设计是根据现有花篮之间距设计,能直接在花篮中取出硅片,大大提高工作效率;手推移动错位块可以对吸笔头气道盒的相对位置进行调节。此外,该新型批量插卸硅片装置结构设计合理,使用可靠稳定,适合推广使用。
搜索关键词: 一种 新型 批量 硅片 装置
【主权项】:
一种新型批量插卸硅片装置,包括手握持面板(6),其特征在于: 所述手握持面板(6)的顶部设置有控制孔(13),所述手握持面板(6)的左右两侧安装有横向定位杆(11),所述手握持面板(6)的前后两侧安装有纵向定位杆(8),所述手握持面板(6)的前侧面上对应控制孔(13)设置有进气口(7),所述手握持面板(6)的下方固定在镂空盒(10)上,所述镂空盒(10)的底部固定在底板(1)上,所述镂空盒(10)内设有第二公共气盒(16)和第一公共气盒(14),所述第二公共气盒(16)和第一公共气盒(14)放置在底板(1)上,所述第二公共气盒(16)和第一公共气盒(14)彼此之间通过连接软管(17)连接,所述第二公共气盒(16)和第一公共气盒(14)上分别设有多个连接板(12),所述第二公共气盒(16)和第一公共气盒(14)上的连接板(12)相互交叉设置,所述第二公共气盒(16)的外侧面的中间位置处安装有手推移动错位块(9),且手推移动错位块(9)从镂空盒(10)内穿过,所述第一公共气盒(14)上设置有对接口(15),所述对接口(15)与进气口(7)相连通,所述连接板(12)的底部至少安装有一个与吸笔头气道盒(4)相连接的连接气管(2),相邻的连接气管(2)之间设有竖直定位条(3),所述竖直定位条(3)的一端固定在连接板(12)上,所述吸笔头气道盒(4)上设有多个吸气孔(20),所述吸笔头气道盒(4)上设有吸笔头海绵贴(18),所述吸笔头海绵贴(18)上设有吸笔头气道(19)。
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