[发明专利]化学品更换智能防呆系统及方法有效
申请号: | 201710218335.4 | 申请日: | 2017-04-05 |
公开(公告)号: | CN108695186B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 赵德闻 | 申请(专利权)人: | 玄创半导体设备(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;G07C9/00 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 邓文武 |
地址: | 200942 上海市宝山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种化学品更换智能防呆系统,包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车,设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端。化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块,化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统,推车组合柜包括若干化学品储存分柜,推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏。本发明防呆方法包括取品、换品、回收等步骤。本发明采用智能信息识别装置在更换化学品前检验物品信息的正确性,具有更换化学品智能防呆的特点。 | ||
搜索关键词: | 化学品 更换 智能 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.化学品更换智能防呆系统,其特征是包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车,所述设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端,所述设备通信终端与所述化学品更换防呆服务器通信连接,所述化学品更换防呆服务器通过所述设备通信终端与所述化学品更换智能推车通信连接,操作人员利用所述化学品更换智能推车完成化学品的提取、运输、更换操作;所述化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块,所述化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统,所述推车组合柜包括若干化学品储存分柜,所述推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏,操作人员通过所述人机交互触摸屏与所述推车化学品更换控制系统进行信息交互。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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