[发明专利]一种沾污检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 201710223406.X | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN106990158B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 埃弗斯塔迪·米尔彻夫·阿普斯托勒沃 | 申请（专利权）人： | 鲁汶仪器有限公司(比利时) |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62 |
| 代理公司： | 11511 北京得信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 袁伟东 |
| 地址： | 比利时鲁*** | 国省代码： | 比利时;BE |
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| 摘要： | 本发明公开一种沾污检测系统及检测方法，包括：激光剥蚀机，对样品表面进行剥蚀，并将沾污以气溶胶形式提供给电感耦合等离子体质谱仪，或者化学液溶解单元；化学液溶解单元，利用腐蚀性液体溶解并收集所述激光剥蚀机所剥蚀的表面沾污，并将其浓缩于一个液体样品；电感耦合等离子体质谱仪，通过中央控制单元切换并选择进样，直接测出激光剥蚀机提供的气溶胶，或者测出浓缩液体样品；以及中央控制单元，对系统进行总括控制并以气溶胶做实时沾污分析或以液体样品做总沾污分析。该系统能够兼顾低检测底线的定量分析(液体样品)和图谱式的整个晶圆沾污分布分析(气溶胶)，功能强大但成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沾污 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种沾污检测系统，其特征在于，/n包括：/n激光剥蚀机，对样品表面进行剥蚀，并将沾污以气溶胶形式提供给电感耦合等离子体质谱仪，或者化学液溶解单元；/n化学液溶解单元，利用化学腐蚀液溶解所述样品表面沾污，并将其浓缩为一个液体样品；/n电感耦合等离子体质谱仪，测出激光剥蚀机提供的气溶胶，或者化学液溶解单元提供的液体样品；以及/n中央控制单元，对系统进行总括控制并以气溶胶做实时沾污分析或以液体样品做总沾污分析，/n所述化学液溶解单元包括：微型化学腐蚀槽、化学腐蚀液源瓶和自动取样装置，所述微型化学腐蚀槽分别与所述激光剥蚀机、所述化学腐蚀液源瓶和所述自动取样装置相连，其中，/n所述化学腐蚀液源瓶向所述微型化学腐蚀槽供给腐蚀液，所述激光剥蚀机将样品表面沾污所形成的气溶胶通入所述微型化学腐蚀槽并溶于其腐蚀液形成液体样品，所述自动取样装置从所述微型化学腐蚀槽提取所述液体样品传输至所述电感耦合等离子体质谱仪。/n
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