[发明专利]脆性基板划线器用粉尘去除装置有效
| 申请号： | 201710223546.7 | 申请日： | 2017-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN107379300B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 金荣男;田珉硕 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02;C03B33/10 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勋 |
| 地址： | 日本国大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于去除划线时所产生的粉尘。本案涉及脆性基板划线器用粉尘去除装置。该脆性基板划线器用粉尘去除装置设置有：粉尘上升部(51)，具备使划线轮向下通过的头通道(51d)，喷出空气而形成包围划线轮的空气幕，并且使划线时所产生的粉尘从基板(A)上升；空气供给机构，对粉尘上升部(51)供给空气；流速调节部，控制对粉尘上升部(51)供给的空气的流动量，而调节从粉尘上升部(51)喷出的空气的流速；及排出机构，将通过粉尘上升部(51)的作用而上升的粉尘与空气一起从空气幕的内侧区域排出到外部。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 划线 器用 粉尘 去除 装置 | ||
【主权项】：
1.一种脆性基板划线器用粉尘去除装置，其特征在于包含：粉尘上升部(51)，具备使划线轮向下通过的头通道(51d)，喷出空气而形成包围所述划线轮的空气幕，并且使划线时所产生的粉尘从基板(A)上升；空气供给机构，对所述粉尘上升部(51)供给空气；流速调节部，控制对所述粉尘上升部(51)供给的空气的流动量，而调节从所述粉尘上升部(51)喷出的空气的流速；及排出机构，将通过所述粉尘上升部(51)的作用而上升的粉尘与空气一起从所述空气幕的内侧区域通过施加真空力的排出端口排出到外部。
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