[发明专利]一种制备电子级三氯氢硅的装置在审
申请号: | 201710226793.2 | 申请日: | 2017-04-06 |
公开(公告)号: | CN106927468A | 公开(公告)日: | 2017-07-07 |
发明(设计)人: | 刘见华;赵雄;万烨;姜丽霞;郭树虎;杨永亮;严大洲;杜俊平;张升学 | 申请(专利权)人: | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107;B01J19/18 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 赵囡囡,金田蕴 |
地址: | 471023 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种制备电子级三氯氢硅的装置。其中,该装置包括反应器,用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料三氯氢硅进行反应;提纯塔,用于将反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到电子级三氯氢硅;以及吸附提纯单元,用于将三氯氢硅进一步去除杂质,得到电子级三氯氢硅。应用本发明的技术方案,本工艺极大地的缩短流程,降低了设备投资和运行能耗,产品品质达到电子级。 | ||
搜索关键词: | 一种 制备 电子 级三氯氢硅 装置 | ||
【主权项】:
一种制备电子级三氯氢硅的装置,其特征在于,包括:反应器,用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料三氯氢硅进行反应;提纯塔,用于将所述反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到提纯产品;以及吸附提纯单元,用于将所述提纯产品进一步去除杂质,得到电子级三氯氢硅。
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