[发明专利]一种浮动加热式快速启动扩散泵有效
申请号: | 201710227071.9 | 申请日: | 2017-04-10 |
公开(公告)号: | CN108691819B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 戴长虹 | 申请(专利权)人: | 青岛理工大学 |
主分类号: | F04F9/00 | 分类号: | F04F9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266033 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种浮动加热式快速启动扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用浮动加热的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;加热器固定在中间隔板上,中间隔板能够漂浮在泵油中,使加热区在正常的泵油范围内始终保持恒定不变;喷射系统中的蒸气导管上或周围有加热装置,能够提高泵芯和蒸气的温度,增加喷射蒸气的速率和动能,并能实现扩散泵的快速启动。 | ||
搜索关键词: | 一种 浮动 加热 快速 启动 扩散 | ||
【主权项】:
1.一种浮动加热式快速启动扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其特征在于:蒸发系统采用浮动加热的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;加热器固定在中间隔板上,中间隔板能够漂浮在泵油中,使加热区在正常的泵油范围内始终保持恒定不变;喷射系统中的蒸气导管上或周围有加热装置,能够提高泵芯和蒸气的温度,增加喷射蒸气的速率和动能,并能实现扩散泵的快速启动。
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