[发明专利]平面研磨装置在审
| 申请号： | 201710228022.7 | 申请日： | 2017-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN107297678A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 井上裕介;吉原秀明 | 申请（专利权）人： | 快递股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34;B24B49/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟,孙明轩 |
| 地址： | 日产神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种平面研磨装置，为了进行基于工件与游星轮的厚度差的间隔管理方式的研磨，而能够通过激光来可靠地测定工件厚度和游星轮厚度这双方，并且通过更多地获得有关工件厚度的测定数据数量来提高研磨精度。平面研磨装置(1)一边使工件(W)保持在游星轮(40)上一边研磨工件(W)的两面，该游星轮配置在上定盘(20)与下定盘(10)之间，至少一部分由具有透光性的材料形成，平面研磨装置具有安装在上定盘(20)上且测定工件(W)的厚度的第1厚度测定器(21a)；和安装在不受上定盘(20)以及下定盘(10)的旋转影响的位置上且测定游星轮(40)的厚度的第2厚度测定器(21b)。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种平面研磨装置，其具有：旋转自如地被支承的下定盘；升降自如且旋转自如地被支承的上定盘；和配置在所述上定盘与下定盘之间且保持由该上定盘和下定盘所研磨的工件的游星轮，由所述上定盘和下定盘来夹持保持在所述游星轮上的工件并对所述工件的两面进行研磨，所述平面研磨装置的特征在于，所述游星轮的至少一部分由具有透光性的材料形成，所述平面研磨装置具有：第1厚度测定器，其安装在所述上定盘上，对所述工件照射激光并接收来自该工件的表面以及背面的反射光，由此测定该工件的厚度；和第2厚度测定器，其安装在不受所述上定盘以及下定盘的旋转影响的位置上，对所述游星轮照射激光并接收来自该游星轮的表面以及背面的反射光，由此测定该游星轮的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于快递股份有限公司，未经快递股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710228022.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
