[发明专利]晶片托架的调平机构、晶片升降机构及反应腔室

摘要

本发明提供一种晶片托架的调平机构、晶片升降机构及反应腔室，该调平机构包括至少三个调平螺钉和支撑定位件，其中，至少三个调平螺钉围绕支撑定位件对称分布，每个调平螺钉贯穿晶片托架，并与升降轴螺纹连接；支撑定位件与晶片托架固定连接，并且在升降轴的上端面形成有球状凹部；支撑定位件包括球状凸部，该球状凹部与球状凸部相配合。本发明提供的晶片托架的调平机构仅需调节至少三个调平螺钉即可完成调平，从而可以简化调平过程，提高工艺效率。而且，支撑定位件的设置不会影响调平螺钉的调节量，从而可以增大可调范围。

主权项

1.一种晶片托架的调平机构，用于将所述晶片托架固定在升降轴的上端，并能够调节所述晶片托架的晶片承载面的水平度，其特征在于，包括至少三个调平螺钉和支撑定位件，其中，所述至少三个调平螺钉以所述支撑定位件为中心对称分布，每个所述调平螺钉贯穿所述晶片托架，并与所述升降轴螺纹连接；所述支撑定位件与所述晶片托架固定连接，并且在所述升降轴的上端面形成有球状凹部；所述支撑定位件包括球状凸部，所述球状凹部与所述球状凸部相配合。