[发明专利]硬掩模用组合物有效
| 申请号： | 201710233535.7 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN107340688B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 崔汉永;梁敦植;金相泰;成始震 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种硬掩模用组合物，其通过包含含有选自由特定化学式组成的组中的至少一种重复单元的聚合物和溶剂，从而能够形成具有优异的耐热性、高温耐热性及涂覆均匀性的抗蚀剂下层膜(硬掩模)。更详细而言，所述聚合物包含选自由下述化学式1‑1和化学式1‑2组成的组中的至少一种重复单元，下述化学式1‑1中，Ar |
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| 搜索关键词： | 硬掩模用 组合 | ||
【主权项】：
一种硬掩模组合物，其包含聚合物和溶剂，所述聚合物包含选自由下述化学式1‑1和化学式1‑2组成的组中的至少一种重复单元，化学式1‑1式中，Ar1及Ar2各自独立地为碳原子数6～20的芳香族烃基，或者Ar1为氢原子且Ar2为碳原子数1～25的烃基，Ar1和Ar2可彼此连结而形成5～7元环，n为1～3的整数，化学式1‑2式中，Ar3为4～20的亚芳基。
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