[发明专利]氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层有效

专利信息
申请号: 201710234426.7 申请日: 2017-04-12
公开(公告)号: CN107287545B 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 浜谷典明;高井康 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: C23C4/04 分类号: C23C4/04;C23C4/134
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 杜丽利
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明为氟化钇喷涂涂层、用于其的喷涂材料以及包括喷涂涂层的抗腐蚀涂层。将具有10‑500μm的厚度、1‑6wt%的氧浓度和350‑470HV的硬度的氟化钇喷涂涂层沉积在基材表面上。氟化钇喷涂涂层显示出在卤素系气体气氛或卤素系气体等离子体气氛中的优异的抗腐蚀性,起保护基材免受在酸清洁期间的酸侵入损害的作用并且使来自反应产物和由于从涂层剥离的颗粒产生最小化。
搜索关键词: 氟化 喷涂 涂层 用于 材料 以及 包括 腐蚀
【主权项】:
沉积在基材表面上的氟化钇喷涂涂层,其具有10至500μm的厚度,1至6重量%的氧浓度和至少350HV的硬度。
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