[发明专利]具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源在审
| 申请号： | 201710234464.2 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN108695128A | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 刘杰 | 申请（专利权）人： | 上海伟钊光学科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201822*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 现有考夫曼离子源，在真空镀膜时输出的离子束流受到阴极灯丝变化、工作气体扰动、真空室真空度变化等影响，比如随着阴极灯丝的热蒸发，阴极灯丝越烧越细导致输出离子束流逐渐减小，这时就需要人为调大阴极灯丝电压以保持束流的稳定。本发明设计了一种针对于离子束流变化的自动反馈调节电路，该电路采集输出束流的变化，将负反馈信号传递给阴极灯丝控制电路，当离子束流减弱时，适当增大阴极灯丝功率，而在离子束流增强时，适当减小阴极灯丝功率，从而使输出束流始终维持稳定。本发明的有益之处是，用自动反馈电路实时跟踪调整，使离子源输出束流保持稳定，从而使离子源辅助镀膜的光学薄膜结构稳定，改善光学薄膜的一致性和牢固度，也减少了镀膜过程中对离子源设备的人工干预。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极灯丝 离子束流 束流 输出 考夫曼离子源 自动反馈 电路 光学薄膜结构 自动反馈电路 负反馈信号 离子源辅助 离子源设备 真空室真空 镀膜过程 工作气体 光学薄膜 控制电路 人工干预 实时跟踪 维持稳定 真空镀膜 逐渐减小 牢固度 离子源 热蒸发 扰动 镀膜 减小 采集 传递 | ||
【主权项】：
1.一种具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源，其特征在于通过负反馈电路的自动调节，使离子束流输出稳定。
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