[发明专利]射束电流测量器件和带电粒子束照射装置有效
申请号: | 201710234557.5 | 申请日: | 2017-04-11 |
公开(公告)号: | CN107863284B | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 宇根英康;山元徹朗;滝上佳宏 | 申请(专利权)人: | 日新离子机器株式会社 |
主分类号: | H01J37/04 | 分类号: | H01J37/04;H01J37/244;G01T1/29 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 曹正建;陈桂香 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及能够在任意方向上无缝隙地且连续地执行对带电粒子束的射束电流分布的测量。射束电流测量器件包括多个收集电极,这些收集电极的检测区域在收集电极的布置方向上无缝隙地连续。 | ||
搜索关键词: | 电流 测量 器件 带电 粒子束 照射 装置 | ||
【主权项】:
一种用于测量带电粒子束的射束电流分布的射束电流测量器件,其包括多个收集电极,所述收集电极的检测区域在所述收集电极的布置方向上无缝隙地连续。
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