[发明专利]基于超高阶导模制备圆环状纳米颗粒微结构的方法及装置

摘要

本发明提供一种基于超高阶导模制备圆环状纳米颗粒微结构的方法，包括以下步骤：步骤一，制备波导结构样品；步骤二，将步骤一制备的波导结构样品固定在θ/2θ转角仪的转台上，选用激光器作为激发光源，进行光路‑波导结构样品校准；步骤三，转动转台，改变激光束打到波导结构样品上的入射角，同时记录反射光强度，并绘制反射光强度‑入射角度曲线图，在曲线图上找出最佳点；步骤四，调节转台，使激光束的入射角为最佳点的入射角，保持其他条件不变，向波导结构样品中注入溶剂，待溶剂完全挥发即可得到呈圆环状分布的纳米颗粒。另外本发明还提供一种基于超高阶导模制备圆环状纳米颗粒微结构的装置。

主权项

1.一种基于超高阶导模制备圆环状纳米颗粒微结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，制备波导结构样品；首先，进行三层玻璃切割，三层玻璃分别为上层玻璃、中间层玻璃和下层玻璃，其中，中间层玻璃中间位置开设有通孔、边缘处设有与通孔连通的进样孔，切割好的玻璃采用光胶技术粘合在一起，通孔处的空腔称为微流体腔，上层玻璃为导波层；其次，采用磁控溅射的方法在导波层上表面溅射镀膜形成耦合层、在下层玻璃下表面溅射镀膜形成衬底；步骤二，将步骤一制备的波导结构样品固定在θ/2θ转角仪的转台上，选用激光器作为激发光源，波长为可见光和紫外光，然后进行光路‑波导结构样品校准，校准的过程为：激光束垂直入射波导结构样品上，当反射光与入射光重合时，为校准点，此时转台角度称为零点；步骤三，转动转台，改变激光束打到波导结构样品上的入射角，同时记录反射光强度，并绘制反射光强度‑入射角度曲线图，在曲线图上找出最佳点；最佳点满足的条件为，反射光强度小于入射光强度的10％，入射角度为0‑15度，若有若干个点均满足此条件，则选入射角最小的点作为最佳点；步骤四，调节转台，使激光束的入射角为最佳点的入射角，保持其他条件不变，向波导结构样品中注入溶剂，待溶剂完全挥发即可得到呈圆环状分布的纳米颗粒。