[发明专利]一种彩色色阻的制作方法有效
申请号: | 201710236135.1 | 申请日: | 2017-04-12 |
公开(公告)号: | CN106918948B | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 甘启明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G03F7/00 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种彩色色阻的制作方法,包括:在衬底上形成具有第一标记、第二标记、第三标记、第一镂空区域、第二镂空区域和第三镂空区域的黑色矩阵层;依次移动光罩使对位标记分别与各标记对齐;分别用光罩在黑色矩阵层上形成第一色阻和第一色块、第二色阻和第二色块、以及第三色阻和第三色块,并根据各色块和相应镂空区域的位置关系来核对各色阻位置;第一标记/第一镂空区域和第二标记/第二镂空区域之间在竖直方向上间隔第一距离,第一标记/第一镂空区域和第三标记/第三镂空区域之间在竖直方向上间隔第二距离;第一距离和第二距离被配置成使第一色块、第二色块和第三色块互不交叠。采用本方案可在不改变色块大小的前提下使各色块互不交叠。 | ||
搜索关键词: | 一种 彩色 制作方法 | ||
【主权项】:
一种彩色色阻的制作方法,其特征在于,包括:在衬底基板上形成具有第一标记、第二标记、第三标记、第一镂空区域、第二镂空区域和第三镂空区域的黑色矩阵层;移动光罩,使所述光罩上的对位标记与所述第一标记对齐;利用所述光罩在所述黑色矩阵层上形成第一色阻和第一色块,并根据所述第一色块和所述第一镂空区域的位置关系来核对所述第一色阻的位置;移动所述光罩,使所述对位标记与所述第二标记对齐;利用所述光罩在所述黑色矩阵层上形成第二色阻和第二色块,并根据所述第二色块和所述第二镂空区域的位置关系来核对所述第二色阻的位置;移动所述光罩,使所述对位标记与所述第三标记对齐;利用所述光罩在所述黑色矩阵层上形成第三色阻和第三色块,并根据所述第三色块和所述第三镂空区域的位置关系来核对所述第三色阻的位置;其中,所述第一标记/第一镂空区域和所述第二标记/第二镂空区域之间在竖直方向上间隔第一距离,所述第一标记/第一镂空区域和所述第三标记/第三镂空区域之间在竖直方向上间隔第二距离;所述第一距离和第二距离被配置成使所述第一色块、第二色块和第三色块互不交叠。
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