[发明专利]压电微机电系统有效
| 申请号： | 201710239774.3 | 申请日： | 2017-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN107394037B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 夏佳杰;M·普拉布哈钱德兰·奈尔;Z·斯比阿;R·P·耶勒汉卡;R·库马尔 | 申请（专利权）人： | 新加坡商世界先进积体电路私人有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/27;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀纯 |
| 地址： | 新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及压电微机电系统，为一种在通过介电层分离的衬底上包括压电堆栈的微机电系统(MEMS)装置。压电堆栈包括第一压电层与第二压电层，其具有位在第一压电层与接触垫下面的第一电极、以及位在第一压电层与第二压电层间的第二电极。第一接触穿过压电层与接触垫延展至第一电极，而第二接触穿过第二压电层延展至第二电极。接触垫防止接触开口中的第一压电层与第二压电层间形成接口，从而防止压电层在接触形成过程中遭受侵蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 微机 系统 | ||
【主权项】：
一种用于形成装置的方法，其包含：提供具有第一主表面与第二主表面的衬底；在该衬底的至少该第一主表面上形成介电层；在该衬底上形成压电堆栈，其中，该压电堆栈至少包含：在该衬底的该第一主表面上具有第一电极的图案化第一底电极层，位在该图案化第一电极层上的第一压电层，位在该第一压电层上的图案化第二底电极层，其中，该图案化第二电极层包括电极垫及第二电极，以及位在该第一压电层及该图案化第二电极层上的第二压电层；以及在该压电堆栈中形成第一接触与第二接触，其中，该第一接触穿过该第一压电层延展，并且电耦合至该第一电极，该第一接触是由介于该第一压电层与该第二压电层间的该电极垫所围绕，以及该第二接触穿过该第二压电层延展，并且电耦合至该第二电极。
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