[发明专利]数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法有效
| 申请号： | 201710243755.8 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN107301117B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 增田充宏 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G06F11/34 | 分类号： | G06F11/34;G06Q50/04;G05B19/418 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了数据传输方法、非暂时性存储介质、数据传输设备、光刻装置和制造产品的方法。将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备的数据传输方法包括存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于该对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，和发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据。该存储和获得由信息处理设备执行。 | ||
| 搜索关键词： | 数据传输 方法 暂时性 存储 介质 设备 光刻 装置 制造 产品 | ||
【主权项】：
一种数据传输方法，其特征在于，该数据传输方法将记录在制造装置的日志数据中的日志信息的数据发送到外部设备，所述数据传输方法包括：存储第一标识符的信息和第二标识符的信息之间的对应信息，该第一标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第一标识符由所述制造装置和外部设备共享，第二标识符是用于标识关于由所述制造装置执行的处理的事物的标识符并且所述第二标识符由所述制造装置使用；以及基于所述对应信息获得与记录在日志信息中的所述第二标识符的信息相对应的第一标识符的信息，以及发送已经添加了所获得的第一标识符的信息的日志信息的数据，其中所述存储和获得由信息处理设备执行。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710243755.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
