[发明专利]硅片自动纠正装置有效

专利信息
申请号: 201710245088.7 申请日: 2017-04-14
公开(公告)号: CN106876308B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 孙铁囤;姚伟忠;汤平 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及硅片生产设备技术领域,尤其是涉及一种硅片自动纠正装置,包括机架及设置在机架上的框架,所述机架上设置有用于驱动框架上升或者下降的第一驱动装置,还包括控制单元、推板、接近开关、延时继电器、第一微动开关和第二微动开关,所述框架倾斜设置在所述机架上,所述机架的一端设有用于输送硅片的输送带,所述机架上设有用于驱动输送带转的第二驱动装置,所述框架上设有用于插设插片盒的插槽,本发明硅片自动纠正装置在使用时,能够自动对倾斜硅片进行纠正,避免了硅片在到达插槽时出现倾斜,从而导致硅片一部分露在外面,在进行下一片硅片插入时,会使得上一片硅片与设备发生碰撞,使得硅片直接损坏,增加生产成本的问题。
搜索关键词: 硅片 自动 纠正 装置
【主权项】:
一种硅片自动纠正装置,包括机架(1)及设置在机架(1)上的框架(2),所述机架(1)上设置有用于驱动框架(2)上升或者下降的第一驱动装置(3),其特征在于:还包括控制单元(4)、推板(5)、接近开关(6)、第一微动开关(8)和第二微动开关(9),所述框架(2)倾斜设置在所述机架(1)上,所述机架(1)的一端设有用于输送硅片的输送带(10),所述机架(1)上设有用于驱动输送带(10)转的第二驱动装置(11),所述框架(2)上设有用于插设插片盒的插槽(201),所述框架(2)位于所述输送带(10)的输出端,所述接近开关(6)位于所述输送带(10)的输出端,所述推板(5)位于机架(1)远离输送带(10)的一端,所述机架(1)上设有用于驱动推板(5)靠近或者远离框架(2)的第三驱动装置(7),所述第一微动开关(8)设置在所述机架(1)上,所述第一微动开关(8)位于框架(2)靠近推板(5)的一侧,所述框架(2)的两侧均设有第二微动开关(9),所述推板(5)内开设有卡槽(501),所述第二微动开关(9)设置在所述卡槽(501)的底部,所述卡槽(501)底部的两侧均设了所述第二微动开关(9),所述第一微动开关(8)、第二微动开关(9)、接近开关(6)、第一驱动装置(3)、第二驱动装置(11)和第三驱动装置(7)均与控制单元(4)信号连接。
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