[发明专利]用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管及其应用

摘要

本发明提供了一种用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管，它由水冷小管、变径环、水冷大管、安装座、分流块组成，其特征在于：水冷小管与变径环、变径环与水冷大管、水冷大管与安装座依次通过安装定位止口配合后焊接相连，由此串联焊接形成水冷芯管主体；水冷小管上端面位置处设置有4个出水槽口，4个分流块分别焊接于4个出水槽口外侧圆周面上；安装座内孔设置有锥形管螺纹进水口，同时设置有4个安装孔，用于与电极底部端面安装；安装座同时设置有密封槽，用于安装O形密封圈，在安装座与电极底部端面之间起密封作用。其优点在于：采用变径式结构，可伸入电极芯部，冷却更加充分；设置分流块，使得冷却效果更为明显。

主权项

一种用于半导体级硅单晶炉电极的水冷芯管，包括水冷芯管，其特征在于：水冷芯管包括水冷小管、变径环、水冷大管、安装座和分流块，安装座的中心为进水口，其中：水冷大管与安装座无缝焊接，进水口位于水冷大管中央，水冷大管与水冷小管之间通过变径环无缝焊接，水冷小管的端部封口，封口上设有均匀分布的出水槽，每个出水槽配有一片分流块。