[发明专利]气敏感测设备与系统以及检测环境中的氧气的方法有效
申请号: | 201710249992.5 | 申请日: | 2017-04-17 |
公开(公告)号: | CN107064272B | 公开(公告)日: | 2019-11-26 |
发明(设计)人: | 王国强;王久石 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/414 | 分类号: | G01N27/414 |
代理公司: | 11225 北京金信知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄威;范琏<国际申请>=<国际公布>=< |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种气敏感测设备、包括所述气敏感测设备的气敏感测系统以及检测环境中的氧气的方法。所述气敏感测设备包括:薄膜晶体管器件,其包括有源层、源极以及漏极;以及气敏层,其与所述有源层相接合,所述气敏层由对氧气有吸附作用并能够与氧气结合以产生电子的材料构成,或者,所述气敏层由能够与氧气反应以产生电子的材料构成,所述气敏层产生的电子能够被所述有源层接收。本发明的气敏感测设备能够用于检测环境中的氧气。 | ||
搜索关键词: | 气敏层 敏感 源层 氧气 薄膜晶体管器件 吸附作用 氧气反应 氧气结合 接合 检测 漏极 源极 | ||
【主权项】:
1.一种气敏感测设备,包括:/n薄膜晶体管器件,其包括有源层、源极以及漏极;以及/n气敏层,其与所述有源层相接合,所述气敏层由对氧气有吸附作用并能够与氧气结合以产生电子的材料构成,或者,所述气敏层由能够与氧气反应以产生电子的材料构成,所述气敏层产生的电子能够被所述有源层接收,/n其中所述气敏层覆盖在所述有源层上,并且所述气敏层形成在所述有源层的远离所述源极和所述漏极的一侧。/n
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